¿Cuáles son los factores que tienen un impacto en la resolución de un microscopio electrónico de transmisión?
A. Diámetro del punto del haz de electrones incidente: el límite del poder de resolución del SEM. Generalmente, el diámetro mínimo del punto del cañón de electrones de cátodo caliente se puede reducir a 6 nm, y el cañón de electrones de emisión de campo puede hacer que el diámetro del punto sea inferior a 3 nm.
B. Efecto de expansión del haz de electrones incidente en la muestra: el grado de difusión depende de la energía de los electrones del haz incidente y del número atómico de la muestra. Cuanto mayor es la energía del haz incidente y menor el número atómico de la muestra, mayor es el volumen del haz de electrones, mayor es el área de la señal generada con la difusión del haz de electrones, reduciendo así la resolución.
C. Método de obtención de imágenes y señal de modulación utilizada: cuando la señal de modulación electrónica secundaria, debido a su baja energía (menos de 50 eV), el rango libre promedio es corto (10 ~ 100 nm aproximadamente), solo en la capa superficial de el rango de profundidad de 50 ~ 100 nm de los electrones secundarios puede escapar de la superficie de la muestra, la ocurrencia del número de dispersión es muy limitada, básicamente no se expandió lateralmente, por lo que la resolución de la imagen del electrón secundario es aproximadamente igual a la del haz diámetro del punto. Cuando los electrones retrodispersados se utilizan como señal de modulación, los electrones retrodispersados pueden escapar de la región más profunda de la muestra (aproximadamente el 30% de la profundidad efectiva) debido a su alta energía y capacidad de penetración. En este rango de profundidad, los electrones incidentes han tenido una expansión lateral bastante amplia, por lo que la resolución de la imagen de los electrones retrodispersados es menor que la imagen de los electrones secundarios, generalmente en los 500 ~ 2000nm aproximadamente. Si la absorción de electrones, rayos X, catodoluminiscencia, conductancia de detección del haz o potencial como señal de modulación de otros modos de operación, debido a la señal de toda la región de dispersión del haz de electrones, la imagen de escaneo resultante de la resolución es relativamente baja, generalmente en 1,000 nm o 1,000 nm o más que varían.
