¿Cuántos nanómetros puede ver un microscopio confocal?
El objetivo de la ciencia de los materiales es estudiar la influencia de la estructura superficial de un material en sus propiedades superficiales. Por lo tanto, analizar la topografía de la superficie en alta resolución es importante para determinar parámetros relacionados con la rugosidad de la superficie, las propiedades reflectantes, las propiedades tribológicas y la calidad de la superficie. Las técnicas confocales son capaces de medir materiales con una variedad de propiedades reflectantes de superficie y obtener datos de medición efectivos.
El microscopio confocal láser, basado en el principio de la tecnología confocal, es un instrumento de inspección para mediciones a micro y nanoescala en las superficies de diversos dispositivos y materiales de precisión. La alta resolución de medición alcanza 0.5 nm.
Aplicaciones
1. MEMS
Medición dimensional de componentes micrométricos y submicrónicos, observación de la morfología de la superficie después de diversos procesos (revelado, grabado, metalización, CVD, PVD, CMP, etc.), análisis de defectos.
2.Componentes mecánicos de precisión, dispositivos electrónicos.
Medición dimensional de componentes micrométricos y submicrónicos, observación de la morfología de la superficie después de diversos procesos de tratamiento de superficies, procesos de soldadura, análisis de defectos, análisis de partículas.
3.Semiconductores/LCD
Observación de la topografía de la superficie después de diversos procesos (revelado, grabado, metalización, CVD, PVD, CMP, etc.), análisis de defectos Medición de anchos de líneas sin contacto, profundidades de paso, etc.
4. Tribología, corrosión y otras ingenierías de superficies.
Medición de volumen de marcas de abrasión, medición de rugosidad, topografía de superficies, corrosión y topografía de superficies después de ingeniería de superficies submicrónicas.
Especificación técnica
Modelo: VT6100
Rango de carrera: 100*100*100mm
Rango de campo de visión: 120×120 μm~1,2×1,2 mm
Repetibilidad de la medición de altura (1σ): 12 nm
Precisión de la medición de altura: ± (0.2+L/100) μm
Resolución de medición de altura: 0.5 nm
Repetibilidad de la medición de ancho (1σ): 40 nm
Precisión de medición de ancho: ± 2%
Resolución de medición de ancho: 1 nm
