¿Cuál es el principio de funcionamiento del medidor de espesor en línea de recubrimiento de película delgada?
Medición y control de Jingpu El medidor de espesor en línea de recubrimiento de película delgada es un instrumento de medición de espesor en línea que utiliza el principio de la tecnología de recubrimiento óptico para detectar el espesor de los materiales. Medición de espectro de precisión y control El medidor de espesor en línea de película delgada se usa a menudo para probar por lotes el espesor de los materiales en la línea de producción. Responder a datos anormales es un eslabón importante en la producción automatizada. Hoy en día, debido al rápido desarrollo de la ciencia y la tecnología, los medidores de espesor en línea de recubrimiento de película delgada se han convertido en una herramienta indispensable para la detección por lotes del espesor del material en la línea de producción.
Hoy en día, debido al rápido desarrollo de la ciencia y la tecnología, el campo de la visión artificial se ha desarrollado y aplicado rápidamente. En el campo de la medición del espesor de película delgada, los medidores de espesor en línea para recubrimientos de película delgada también se han desarrollado rápidamente. Hoy en día, con el desarrollo continuo de la ciencia y la tecnología, la medición del espesor Los tipos y características técnicas del instrumento también se han mejorado mucho. En el proceso de aplicación del calibre de espesores, combinado con diferentes tipos de calibres de espesores, el uso también es muy diferente. Ahora tome el medidor de espesor de recubrimiento de película delgada de Medición y control de precisión de Wuxi. Por ejemplo, el medidor de espesor en línea de medición y control de espectro de precisión (espesor de película) adopta el método de interferencia nano-óptica, que puede medir simultáneamente 20 capas de recubrimientos no utilizados y películas al mismo tiempo, y la precisión es tan alta como 1nm, lo que resuelve perfectamente el problema de la radiación tradicional. El medidor de espesor en línea tiene las desventajas de la radiación, el largo período de compensación, la baja precisión de detección y la incapacidad para detectar el espesor del recubrimiento. El medidor de espesor en línea de control y medición de precisión tiene una alta precisión de detección y, al mismo tiempo, puede calibrarse automáticamente en línea en tiempo real, lo que garantiza efectivamente la precisión de detección del medidor de espesor en línea.
Principio de detección de medidor de espesor en línea de recubrimiento de película delgada:
Cuando la luz de una longitud de onda específica pasa a través de diferentes materiales (diferente grosor, densidad, composición), las franjas espectrales formadas después de múltiples reflexiones en la superficie y en el interior son completamente diferentes. El sistema analiza el espectro de la luz reflejada recibida. Las características de la franja de interferencia se combinan y comparan con las curvas espectrales en la biblioteca del sistema, y las curvas características se simulan y ajustan al mismo tiempo, y luego se miden los recubrimientos con diferentes espesores de componentes. en línea.
(1) La luz incidente se refleja varias veces en las superficies superior e inferior de la película.
(2) La intensidad de la luz reflejada está relacionada con el índice de refracción de la película, el índice de refracción del sustrato, el espesor de la película y la longitud de onda.
(3) En el caso de un índice de refracción conocido, calcule el espesor de la película de acuerdo con la función de la longitud de onda e intensidad de la luz reflejada medida.
