¿Cuál es el principio de funcionamiento del microscopio electrónico de barrido?
Debido al hecho de que se utiliza microscopía electrónica de transmisión para obtener imágenes TE, es necesario garantizar que el espesor de la muestra esté dentro del rango de tamaño que el haz de electrones puede penetrar. Para lograr esto, se necesitan varios métodos engorrosos de preparación de muestras para transformar muestras de gran tamaño a un nivel aceptable para la microscopía electrónica de transmisión.
El objetivo de los científicos es aprovechar directamente las propiedades de los materiales de la superficie de las muestras para obtener imágenes microscópicas.
Gracias a los esfuerzos, esta idea se ha hecho realidad: el microscopio electrónico de barrido (SEM).
SEM - Instrumento de óptica electrónica que escanea la superficie de la muestra observada con un haz de electrones muy delgado, recopila una serie de información electrónica generada por la interacción entre el haz de electrones y la muestra, e imágenes después de la conversión y amplificación. Es una herramienta beneficiosa para estudiar estructuras de superficies tridimensionales.
Su principio de funcionamiento es:
En el tubo de lente de alto vacío, el haz de electrones generado por el cañón de electrones se enfoca en un haz fino mediante la lente de convergencia de electrones y luego escanea y bombardea la superficie de la muestra punto por punto para generar una serie de información electrónica (electrones secundarios, atrás). electrones de reflexión, electrones de transmisión, electrones de absorción, etc.). El detector recibe varias señales electrónicas, las amplifica mediante el amplificador electrónico y luego las introduce en el tubo de imagen controlado por la rejilla del tubo de imagen.
Al escanear la superficie de la muestra con un haz de electrones enfocado, debido a las diferentes propiedades físicas y químicas, potencial de superficie, composición elemental y morfología cóncava-convexa de la superficie en diferentes partes de la muestra, la información electrónica excitada por el haz de electrones es diferente, lo que resulta en el cambio constante de la intensidad del haz de electrones del tubo de imagen. Finalmente, se puede obtener una imagen correspondiente a la estructura superficial de la muestra en la pantalla fluorescente del tubo de imágenes. Según las diferentes señales electrónicas recibidas por el detector, se pueden obtener la imagen de electrones retrodispersados, la imagen de electrones secundarios y la imagen de electrones de absorción de la muestra, respectivamente.
Como se describió anteriormente, un microscopio electrónico de barrido tiene principalmente los siguientes módulos: módulo de sistema de óptica electrónica, módulo de alto voltaje, módulo de sistema de vacío, módulo de detección de microseñales, módulo de control, módulo de control de mesa de microdesplazamiento, etc.
