¿Cuáles son los factores que afectan la resolución de la microscopía electrónica de transmisión?
A. Diámetro del punto del haz de electrones incidente: es el límite del poder de resolución del microscopio electrónico de barrido. En general, el diámetro mínimo del punto del haz del cañón de electrones de cátodo caliente se puede reducir a 6 nm, y el cañón de electrones de emisión de campo puede hacer que el diámetro del punto del haz sea inferior a 3 nm.
B. Efecto de expansión del haz de electrones incidente en la muestra: el grado de difusión depende de la energía de los electrones del haz incidente y del número atómico de la muestra. Cuanto mayor sea la energía del haz incidente, menor será el número atómico de la muestra, mayor será el volumen del haz de electrones y el área donde se genera la señal aumenta con la difusión del haz de electrones, lo que reduce la resolución.
C. Método de formación de imágenes y señal de modulación utilizada: cuando se utiliza el electrón secundario como señal de modulación, debido a su baja energía (menos de 50 eV) y su trayectoria libre media corta (alrededor de 10-100 nm), solo la capa superficial de 50-100 nm Los electrones secundarios en el rango de profundidad solo pueden escapar de la superficie de la muestra, y la cantidad de dispersión que se produce es muy limitada y, básicamente, no se expande lateralmente. Por lo tanto, la resolución de la imagen del electrón secundario es aproximadamente igual al diámetro del punto del haz. Cuando los electrones retrodispersados se utilizan como señal de modulación, la energía de los electrones retrodispersados es relativamente alta y la capacidad de penetración es fuerte, por lo que pueden escapar de un área más profunda en la muestra (alrededor del 30 por ciento de la profundidad efectiva). En este rango de profundidad, los electrones incidentes tienen una expansión lateral bastante amplia, por lo que la resolución de la imagen de electrones retrodispersados es menor que la de la imagen de electrones secundarios, generalmente alrededor de 500-2000nm. Si se utilizan como señales de modulación otros modos de operación como absorción de electrones, rayos X, catodofluorescencia, conductancia inducida por haz o potencial, dado que las señales provienen de toda el área de dispersión del haz de electrones, la resolución de las imágenes de barrido obtenidas es relativamente baja. , generalmente a l 000 nm o por encima de l0000 nm.
