Principio de obtención de imágenes mediante microscopio electrónico de transmisión
El haz de electrones de un microscopio electrónico de barrido no atraviesa la muestra, sino que se enfoca en un área pequeña de la muestra tanto como sea posible y luego escanea la muestra línea por línea. Los electrones incidentes excitan los electrones secundarios en la superficie de la muestra. El microscopio observa los electrones esparcidos desde cada punto. El cristal de centelleo colocado al lado de la muestra recibe estos electrones secundarios y modula la intensidad del haz de electrones del tubo de imagen después de la amplificación, cambiando así el brillo de la pantalla fluorescente del tubo de imagen. La imagen es una representación tridimensional que refleja la estructura de la superficie del espécimen. La bobina de desviación del tubo de rayos catódicos se escanea sincrónicamente con el haz de electrones en la superficie de la muestra, de modo que la pantalla fluorescente del tubo de rayos catódicos muestra la imagen morfológica de la superficie de la muestra, que es similar al principio de funcionamiento de la industria. televisores. Debido al hecho de que los electrones en tales microscopios no necesitan transmitirse a través de la muestra, no es necesario que el voltaje requerido para la aceleración de los electrones sea muy alto.
La resolución de un microscopio electrónico de barrido está determinada principalmente por el diámetro del haz de electrones sobre la superficie de la muestra. El aumento es la relación entre la amplitud de escaneo en el tubo de rayos catódicos y la amplitud de escaneo en la muestra, que puede variar continuamente desde decenas de veces hasta cientos de miles de veces. La microscopía electrónica de barrido no requiere muestras muy finas; La imagen tiene un fuerte sentido de tridimensionalidad; Puede analizar la composición de sustancias utilizando información como electrones secundarios, electrones absorbidos y rayos X generados por la interacción entre haces de electrones y sustancias.
La fabricación de microscopios electrónicos de barrido se basa en la interacción entre los electrones y la materia. Cuando un haz de electrones de alta energía bombardea la superficie de un material, la región excitada producirá electrones secundarios, electrones Auger, rayos X característicos y rayos X de espectro continuo, electrones retrodispersados, electrones transmitidos, así como radiación electromagnética en el visible. , ultravioleta e infrarroja. Al mismo tiempo, también se pueden generar pares de huecos de electrones, vibraciones de red (fonones) y oscilaciones de electrones (plasmas).
