Sistema de imágenes de microscopio electrónico
1. Lente objetivo y estigmador
La lente objetivo es la primera lente de formación de imágenes del sistema de formación de imágenes. El rendimiento de un microscopio electrónico está determinado principalmente por las características ópticas de la lente del objetivo. Cualquier imperfección en la lente del objetivo se verá magnificada aún más por otras lentes en el sistema de imágenes. Por lo tanto, se requiere que la aberración de la lente del objetivo sea lo más pequeña posible y que la ampliación sea lo suficientemente alta, y la lente del objetivo con excitación fuerte, distancia focal corta (1.5-3mm) y el diafragma de la lente del objetivo generalmente son Se utiliza para reducir la aberración esférica. Debido a que la apertura óptica es demasiado pequeña, la resolución de la lente del objetivo se reducirá debido al efecto de difracción y la interferencia del haz de electrones será fuerte debido al efecto de contaminación del borde óptico, por lo que la apertura óptica no puede ser demasiado pequeña. .
El estigmatizador es una parte importante para garantizar que se mejore la resolución de la lente del objetivo. Utiliza un campo magnético con fuerza y orientación ajustables para corregir el astigmatismo axial causado por la lente del objetivo no axisimétrica.
El estigmatizador electromagnético de uso común se compone de dos grupos de cuatro pares de electroimanes instalados uniformemente alrededor del espacio entre las piezas polares. Los dos campos magnéticos de corrección elípticos formados son perpendiculares entre sí, y al cambiar la intensidad de excitación y la dirección del campo magnético de los dos conjuntos de electromagnéticos, se puede formar un campo magnético de corrección no rotacionalmente simétrico. Si su fuerza es igual al campo de astigmatismo de la lente y las direcciones son perpendiculares entre sí, puede eliminar el astigmatismo.
2. Espejo intermedio y espejo de proyección
El espejo intermedio es una lente magnética débil con distancia focal larga y aumento variable. El orificio interior de la pieza polar es más grande y el aumento está entre 0-20. Cuando el aumento es superior a 1, se utiliza para ampliar el espejo del objetivo; cuando el aumento es inferior a 1, se utiliza para reducir el espejo del objetivo.
El espejo de proyección es una lente magnética fuerte de distancia focal corta, que utiliza zapatos polares simétricos de apertura pequeña hacia arriba y hacia abajo para obtener un gran aumento. El espejo de proyección tiene una cierta corriente de excitación, que desempeña la función de ampliar la imagen central y proyectarla en la pantalla fluorescente.
3. Amplificación de tres etapas
El mayor aumento de un microscopio electrónico está determinado por factores como el rendimiento del instrumento, la resolución de la placa base fotográfica (o pantalla fluorescente), etc. En términos generales, el sistema de imágenes de aumento secundario puede obtener una imagen electrónica ampliada en aproximadamente 200000 veces. La lente del objetivo aumenta 100 veces los detalles de la muestra y forma la imagen en el espejo del objetivo, mientras que el espejo intermedio aumenta la imagen de la lente del objetivo en 20 veces y la refleja en el espejo de proyección; el espejo de proyección aumenta 100 veces la imagen del espejo intermedio y forma la imagen en la pantalla fluorescente. El ajuste del número de monjes amplificados se puede realizar cambiando la corriente de excitación del inserto central. Después de cambiar la corriente de excitación de la ciudad central, la corriente de excitación de la lente del objetivo también debe cambiarse adecuadamente para garantizar que el plano del espejo de la lente del objetivo se mezcle con la superficie de montaje central, para obtener una imagen clara de la punto focal.
En el sistema de imágenes de tres etapas, si se cambia la corriente de excitación del objeto, la imagen de la lente del objetivo se puede hacer debajo de la montura intermedia.
El espejo del objeto es un "objeto virtual", que se forma en una pequeña imagen real en la superficie del objeto A del espejo de proyección. La imagen del espejo de proyección se refleja en la pantalla fluorescente, de modo que se puede obtener una imagen electrónica ampliada de miles a decenas de miles de veces. La distorsión de la imagen producida por este método puede reducirse mediante la compensación mutua de la distorsión de barril del espejo intermedio y la distorsión de cojín del espejo de proyección.
Si la lente del objetivo está cerrada y se usa el espejo intermedio en lugar del objeto para generar imágenes, la ampliación se puede reducir a aproximadamente 100-300 más y se pueden obtener imágenes con un campo de visión más grande.
