El microscopio electrónico tiene varias partes.
El microscopio electrónico consta de tres partes: cilindro de lente, dispositivo de vacío y gabinete de fuente de alimentación.
1. El cilindro de la lente incluye principalmente fuentes de electrones, lentes de electrones, portamuestras, pantallas fluorescentes y detectores. Estos componentes generalmente se ensamblan en un cilindro de arriba a abajo.
La lente electrónica se utiliza para enfocar los electrones y es el componente más importante en el cilindro del microscopio electrónico. Generalmente, se usan lentes magnéticas y, a veces, también se usan lentes electrostáticas.
2. El dispositivo de vacío se utiliza para garantizar el estado de vacío en el microscopio, de modo que los electrones no se absorban ni se desvíen en su camino. Está compuesto por una bomba de vacío mecánica, una bomba de difusión y una válvula de vacío, y está conectado al cilindro de la lente a través de un tubo de escape.
3. El gabinete de potencia está compuesto por un generador de alto voltaje, un estabilizador de corriente de excitación y varias unidades de control de ajuste.