Ventajas de la microscopía electrónica de barrido
1. Ampliación
Dado que el tamaño de la pantalla fluorescente del microscopio electrónico de barrido es fijo, el cambio de aumento se realiza cambiando la amplitud de barrido del haz de electrones en la superficie de la muestra.
Si se reduce la corriente de la bobina de exploración, se reducirá el rango de exploración del haz de electrones sobre la muestra y aumentará el aumento. El ajuste es muy conveniente y se puede ajustar continuamente desde 20 veces hasta aproximadamente 200,000 veces.
2. Resolución
La resolución es el principal índice de rendimiento de SEM.
La resolución está determinada por el diámetro del haz de electrones incidente y el tipo de señal de modulación:
Cuanto menor sea el diámetro del haz de electrones, mayor será la resolución.
Las diferentes señales físicas utilizadas para obtener imágenes tienen diferentes resoluciones.
Por ejemplo, los electrones SE y BE tienen diferentes rangos de emisión en la superficie de la muestra y sus resoluciones son diferentes. En general, la resolución de SE es de aproximadamente 5-10 nm y la de BE es de aproximadamente 50-200 nm.
3. Profundidad de campo
Se refiere a una gama de capacidades que una lente puede enfocar e imaginar simultáneamente en varias partes de una muestra con irregularidades.
La lente final del microscopio electrónico de barrido adopta un ángulo de apertura pequeño y una distancia focal larga, por lo que se puede obtener una gran profundidad de campo, que es 100-500 veces mayor que la de un microscopio óptico general y 10 veces mayor que la de un microscopio electrónico de transmisión.
Gran profundidad de campo, fuerte sentido tridimensional y forma realista son las características sobresalientes de SEM.
Las muestras para SEM se dividen en dos categorías:
1 es una muestra con buena conductividad, que generalmente puede mantener su forma original y puede observarse en un microscopio electrónico sin o con un poco de limpieza;
2. Las muestras no conductoras, o las muestras que pierden agua, desgasifican, se contraen y se deforman en el vacío, deben tratarse adecuadamente antes de poder observarlas.
